仕様
チタン チューブ ターゲットは、主にスパッタリングや薄膜堆積プロセスで使用される円筒形のチタン材料です。{0}}チタン プレート ターゲットと同様に、これらはさまざまな基板上にチタン フィルムを堆積するためのターゲットとして機能しますが、その管状の形状により、より効率的なスパッタリングやコーティングのために円筒形のターゲットが必要とされる特定の用途に適しています。
チタン チューブ ターゲットは、物理蒸着 (PVD) プロセスであるマグネトロン スパッタリングの特殊な形式で消耗品の原料として機能するように設計された、高純度のチタンのシリンダーまたは中空チューブです。{0}その機能は、イオン衝撃によって均一に侵食され、その原子が基板上に薄く均一なコーティングを形成できるようにすることです。
仕様
共通グレード
市販の純チタン (ASTM B338 Gr1 または Gr2)、チタン-6アルミニウム-4 バナジウム (ASTM B338 Gr5 / Ti-6Al-4V)。
純度
Gr1/Gr2 の場合、チタン含有量は通常 99.5% 以上です。合金の場合、組成は ASTM 規格に準拠しています。
不純物管理
性能を確保するために、酸素 (O)、窒素 (N)、炭素 (C)、水素 (H) などの格子間元素を厳密に制御します。
物理的寸法と公差
外径 (OD)
カスタマイズ可能、一般的な範囲は 50mm ~ 200mm。
内径 (ID)
OD と壁の厚さによって決まります。
肉厚
用途と直径に応じて、通常は 3mm ~ 15mm です。
長さ
カスタマイズ可能な標準長さは最大 3000 mm。
寸法許容差
| 外径公差 | ±0.5mm |
| 肉厚許容差 | ±5%~±10% |
| 真直度 | < 1.0 mm per meter |
| 端面の直角度 | 必要に応じて指定します。 |
冶金的および機械的特性
密度
理論密度の 98.5% 以上。
微細構造
{0}きめが細かく、均一で、気孔、亀裂、介在物などの欠陥がありません。
粒度
通常は ASTM 6.0 以上です。
表面品質
表面品質
表面仕上げ
滑らかな表面に機械加工され、通常は 1.6 μm 以下またはそれ以上の粗さ (Ra) になります。
状態
清潔で乾燥し、油、グリース、酸化物、その他の汚染物質がないこと。多くの場合、保護コーティングが施されているか、真空パックで提供されます。-
製造工程
鍛造または熱間圧延棒から製造され、その後、精密機械加工、穴あけ、ホーニングが行われ、最終的な寸法と表面仕上げが実現されます。{0}
内部応力を緩和するために完全に焼鈍されています。
主な利点
材料利用率の向上:主な経済的推進力。ターゲットを交換する必要がある前に、より多くの高価なチタンが使用されます。
より長い動作寿命:ターゲット変更時のダウンタイムの削減。
より安定したプラズマと堆積速度:長期にわたる生産期間にわたって、より安定したフィルム品質を実現します。
高電力アプリケーションに最適:{0}}円筒形状と回転により、より効果的な冷却が促進されます。
応用
チタンチューブターゲット 大量、均一、コスト効率の高いコーティングを必要とする業界で好まれています。{0}
建築および自動車用ガラス:エネルギー効率の高い低-ガラス(低-)ガラス内に後続の銀または窒化物層の接着層としてチタンを堆積します。-
フレキシブルエレクトロニクスとパッケージング:太陽電池、透明導電性フィルム、高バリア食品/医療用包装用ポリマー ウェブのコーティング。{0}
ウェブコーティング:装飾、機能、または光学目的での材料ロールの連続コーティング。
大面積フラット パネル ディスプレイ:-テレビ、モニター、タッチスクリーンパネルのコーティングに。
産業用工具:工具やコンポーネントのバッチに耐摩耗性窒化チタン(TiN)コーティングを適用します。{0}
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